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【新能源技術】PECVD詳盡資料整理

本文檔由 精品庫 分享于2012-10-22 10:42

為了使化學反應能在較低的溫度下進行,利用了等離子體的活性來促進反應,因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積(PECVD).
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