薄膜作為一種特殊形狀的物質，與塊狀物質一樣，可以是非晶態、多晶態或單晶態。它即可以用單質元素或化合物制作，也可用無機材料或有機材料制作。隨著固態高科技產業（集成電路產業、固體發光和激光器件產業、磁記錄材料和器件產業）的迅速發展，薄膜科學和技術越來越受到重視，其原因是薄膜的研究和開發對生產的貢獻日益增大，薄膜科學研究成果轉化為生產力的速度越來越快。薄膜技術及薄膜產品已在機械、電子、光學、航空、建材..